ניתוח והערכה של מיקרו-מבנה של חומרים מוליכים למחצה
מבוא שירות
עם הפיתוח המתמשך של מעגלים משולבים בקנה מידה גדול, תהליך ייצור השבבים הופך למורכב יותר ויותר, והמבנה המיקרו וההרכב החריג של חומרים מוליכים למחצה מעכבים את שיפור תפוקת השבבים, מה שמביא אתגרים גדולים ליישום של מוליכים למחצה ומשולבים חדשים. טכנולוגיות מעגלים.
GRGTEST מספקת ניתוח והערכה מקיפים של מבנה חומר מוליכים למחצה כדי לעזור ללקוחות לשפר תהליכי מוליכים למחצה ומעגלים משולבים, כולל הכנת פרופיל רמת פרוסות וניתוח אלקטרוני, ניתוח מקיף של תכונות פיזיקליות וכימיות של חומרים קשורים לייצור מוליכים למחצה, ניסוח ויישום של ניתוח מזהמים של חומר מוליכים למחצה תכנית.
היקף השירות
חומרים מוליכים למחצה, חומרים אורגניים מולקולות קטנות, חומרים פולימריים, חומרים היברידיים אורגניים/אנאורגניים, חומרים אנאורגניים לא מתכתיים
תוכנית שירות
1. הכנת פרופיל רמת פרוסות שבב וניתוח אלקטרוני, המבוסס על טכנולוגיית אלומת יונים ממוקדת (DB-FIB), חיתוך מדויק של האזור המקומי של השבב והדמיה אלקטרונית בזמן אמת, יכולים לקבל את מבנה פרופיל השבב, הרכב ועוד מידע חשוב בתהליך;
2. ניתוח מקיף של תכונות פיזיקליות וכימיות של חומרי ייצור מוליכים למחצה, לרבות חומרים פולימריים אורגניים, חומרים מולקולות קטנות, ניתוח הרכב חומרים אנאורגניים שאינם מתכתיים, ניתוח מבנה מולקולרי וכו';
3. גיבוש ויישום תוכנית ניתוח מזהמים לחומרים מוליכים למחצה.זה יכול לעזור ללקוחות להבין היטב את המאפיינים הפיזיקליים והכימיים של מזהמים, כולל: ניתוח הרכב כימי, ניתוח תכולת רכיבים, ניתוח מבנה מולקולרי וניתוח מאפיינים פיסיקליים וכימיים אחרים.
פריטי שירות
| שֵׁרוּתסוּג | שֵׁרוּתפריטים |
| ניתוח הרכב יסודות של חומרים מוליכים למחצה | l ניתוח אלמנטים של EDS, l ניתוח אלמנטים של פוטואלקטרון רנטגן (XPS). |
| ניתוח מבנה מולקולרי של חומרים מוליכים למחצה | l ניתוח ספקטרום אינפרא אדום FT-IR, l ניתוח ספקטרוסקופי של קרינת רנטגן (XRD), l ניתוח תהודה מגנטית גרעינית (H1NMR, C13NMR) |
| ניתוח מיקרו-מבנה של חומרים מוליכים למחצה | l ניתוח פרוסות אלומת יונים ממוקדת כפולה (DBFIB), l מיקרוסקופ אלקטרונים סריקת פליטת שדה (FESEM) שימשה למדידה ולצפייה במורפולוגיה המיקרוסקופית, l מיקרוסקופ כוח אטומי (AFM) לתצפית על מורפולוגיה של פני השטח |
